渦輪分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子挽帶氣體分子獲得超高真空的一種機(jī)械真空泵。工作壓力范圍為1Pa--10-8Pa，抽氣速率一般在

5000L/s以下。先進(jìn)的泵可以獲得10-9Pa的極限壓力，泵的轉(zhuǎn)速為10000r/min--50000r/min，這種泵的抽速范圍很寬，在九個數(shù)

f級間具有恒定的抽速。分子泵主要用作超高真空泵和高真空泵，但它不能直接對大氣排氣，需要配置前級泵，并且其主要性能(如

極限壓力和抽速)都和配置的前級泵的容率、轉(zhuǎn)數(shù)，被抽氣體的種類有關(guān)。分子泵對較輕的氣休抽速較大，對組的抽速比對空氣的抽

速大20%,我國在禍輪分子泵的研究和生產(chǎn)方面進(jìn)展很快。在20世紀(jì)60年代研制成功的臥式渦輪分子泵的基礎(chǔ)上，很快發(fā)展了銑制和

扭制葉片的兩種立式渦輪分子泵系列產(chǎn)品。抽速范圍為11OL/s,150L/s,45OL/s,55OL/s,60OL/s,120OL/s,1500L/s和3500L/s等多

種規(guī)格。我國制定了立式渦輪分子泵行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(JB/T 9125-95 )和渦輪分子泵性能側(cè)試方法國家標(biāo)準(zhǔn)

(GB7774-87 )，并將磁懸式軸承用于渦輪分子泵中。

近10年來，由于軸承和高速旋轉(zhuǎn)以及數(shù)控加工技術(shù)的不斷發(fā)展，使國際上渦輪分子泵的研制取得了長足的進(jìn)步，抽速從50L/s已發(fā)展

到25000L/s(日本)甚至達(dá)40000L/s(俄羅斯)。在以機(jī)械運(yùn)動的各類真空泵中分子泵是一種結(jié)構(gòu)精密、工藝要求高的泵。泵的動、靜

葉片的幾何形狀與抽速有很大關(guān)系，需要特殊的工藝加工來保證葉片的尺寸和精度。同時要求轉(zhuǎn)子有很好的動平衡，動葉片應(yīng)具有

高強(qiáng)度以承受高速轉(zhuǎn)動產(chǎn)生的離心力，保證泵的運(yùn)轉(zhuǎn)可靠。

分子泵由里于泵體內(nèi)的中頻電機(jī)直接驅(qū)動，渦輪轉(zhuǎn)子為整體式結(jié)構(gòu);該泵對大分子量的氣體有較高的壓縮比，且中頻電機(jī)置于前級空

間，能獲得清沽的高真空和超高真空;它的性能特點是:結(jié)構(gòu)緊湊，工作壓力范圍寬，在10-1Pa-10-7Pa范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速;工作

平穩(wěn)，由于采用了精密軸承，嚴(yán)格的動平衡工藝和一系列的減振措施，因而泵的振動小、噪聲低、啟動時間短，一般在4min-

15min內(nèi)能達(dá)到滿抽速;標(biāo)準(zhǔn)化的法蘭連接尺寸，垂直結(jié)構(gòu)，使其便于與真空系統(tǒng)連接。

隨著渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)不斷改善，用途越來越廣。在某些應(yīng)用領(lǐng)域已有代替油擴(kuò)散泵的傾向。它適用于在要求清潔的高真空和超高

真空的儀器設(shè)備上使用，如高能加速器、核聚變反應(yīng)裝置、宇航模擬、真空鍍膜、真空冶煉、半導(dǎo)體提純、大型電子管排氣等。

目前磁懸浮式渦輪分子泵已達(dá)到實用化程度，使渦輪分子泵向高流量、高出口壓力方向發(fā)展。這樣分子泵不僅在極高和超高真空范

圍內(nèi)應(yīng)用，還可用于高真空和中真空范圍�，F(xiàn)已成為獲得清潔真空的主要設(shè)備(如干式分子泵的出現(xiàn))，應(yīng)用領(lǐng)域在不斷擴(kuò)大。