羅茨真空機組是以羅茨泵為主泵并選配不同的前級泵而組成的真空抽氣裝置。根據(jù)前級真空泵的不同，機組有下列幾種型式，即羅茨-旋片泵機組;羅茨-滑閥泵機組;羅茨-水環(huán)泵機組以及雙羅茨泵機組等。

①如果被抽氣體無特殊性，既無腐蝕性和毒性。又不是低蒸氣壓的氣體，如潔凈空氣等，應(yīng)首先考慮采用旋片式真空泵作為機組的前級泵。因為旋片式真空泵有大的壓縮比和寬的工作壓力范圍，雙級旋片式真空泵的工作壓力范圍從大氣壓力至1×10-2Pa，單級旋片式真空泵的工作壓力范圍從大氣壓力至1Pa。即便是單級旋片真空泵作為一級羅茨機組的前級泵，其極限壓力可達(dá)1×10-1Pa。這類配置由于機組有較寬的工作壓力范圍，所以經(jīng)濟(jì)性好，使用廣泛。同樣，滑閥式真空泵也是這類配置的首選前級泵，滑閥式真空泵因其對被抽氣體中含少量雜質(zhì)的敏感性低于旋片式真空泵，故在許多場合優(yōu)于旋片式真空泵作為前級泵配置。

②如果被抽氣體成分帶有腐蝕性或氣體成分會裂解前級真空泵油，或者抽除較低蒸氣壓的氣體，一般前級泵就不能使用旋片式真空泵和滑閥式真空泵，因為這類氣體會對前級泵產(chǎn)生腐蝕，或會產(chǎn)生大量水蒸氣凝結(jié)在前級泵，侵蝕泵油后使前級泵不能正常工作。在這種情況下，選擇水環(huán)式真空泵為前級泵較為合適。一般水環(huán)式真空泵與一級、二級或三級羅茨泵組成的機組，其極限壓力分別可達(dá)650Pa, 25Pa, 1pa.但是這類使用中有一個值得注意的問題是:

常常遇到被抽的物質(zhì)對環(huán)境有污染，則必須選擇相適合的液體組成循環(huán)使用的封閉液環(huán)式真空泵，同時要配上工作液熱交換冷卻裝置和液環(huán)真空泵出口氣體與液體的分離裝置。

③如果在一個封閉系統(tǒng)中抽除有毒氣體，或是抽除并回收一些潔凈氣體，或者是抽除一個巨大容器中的氣體將其輸送至貯罐中，這類情況，旋片式和滑閥式真空泵及水環(huán)式真空泵均不能作羅茨泵的前級泵，比較理想的是選用氣體循環(huán)冷卻羅茨真空泵。因為該泵具有高壓縮比及大壓差特性，可直排大氣，大大增加機組的排氣量。一個二級羅茨泵加三級氣體循環(huán)冷卻羅茨泵的五級機組，其極限壓力可達(dá)10-1Pa，工作壓力范圍可從大氣壓力至 5×10-1Pa。同時，氣體循環(huán)冷卻羅茨真空泵本身也可作為主抽泵，與水環(huán)真空泵組成機組，適合于②所述的一些高壓差工況，使真空機組的可靠性更好。正因為氣體循環(huán)冷卻羅茨泵有這些特點，所以在目前羅茨真空泵機組中的使用越來越普遍。

④如果被抽系統(tǒng)要求提供無油、水蒸氣污染的清潔真空環(huán)境，前級泵則應(yīng)采用干式真空泵，可選擇螺桿式、爪式或活塞式無油真空泵，羅茨泵也應(yīng)選用無油污染的類型。這種配置方案即可解決單純使用干式泵極限真空度低的問題，又能保證有較大的抽速。前級泵的選擇自然還應(yīng)考慮選擇多大的抽速來匹配與主泵羅茨泵的級比，以適應(yīng)被抽容器大小和達(dá)到工作壓力所需時間的要求。